下一代硅片
以完成ISMI(國際半導體制造產業(yè)聯(lián)盟)評估。及時應對12mm間距。
采用了獨自的防止塵?;烊氲募夹g
實現(xiàn)了晶圓圖形(Mapping)功能測試工作的高速化
高精度晶圓圖形(Mapping)功能測試(晶圓有/無、雙、交叉)
大型便于觀察的顯示器
※ Ethernet是美國Xerox Corp的注冊商標。
活躍在全球的300mm半導體制造廠(Fab)中的昕芙旎雅的小環(huán)境系統(tǒng)。
抑制晶圓背面附著塵埃。
X軸上采用了強力密度線性脈沖電機(LPM)。
盡量減少機器人最小旋轉半徑,實現(xiàn)了小型緊湊化設計。
采用了獨自的硅片傳輸機器手。
機器人更換時也不用重新示教。
各種晶圓對應方面取得的業(yè)績。
更高水平、更高效率支持半導體加工工藝。
實現(xiàn)了無走行軸機器人的性能。由于機器人主體的細小化(最小轉動直徑ф495mm,從而實現(xiàn)了體積小、重量輕、結構緊湊。)
由于采用了吸附搬運方式實現(xiàn)了高速度、高精度定位。
也可用于(±0.05mm)吸附搬運(邊部夾住:Edge Clamp)中的搬運。
由于采用了附帶全軸絕對值編碼器的AC伺服電機,接通電源時不用回原點。
達到了220wafer/h(片/小時)。
SELOP系列中的新型號!
由于采用了大型顯示器,只用一臺便可對應所有的半導體制造廠(Fab)!
采用了獨自的防止塵?;烊爰夹g
高精度晶圓圖形(Mapping)功能測試(晶圓片有/無、雙、交叉)
對應全球的最終用戶
大型便于觀察的顯示器
有助于提高新一代的產品質量(22n/16n微細化)
防止晶圓間交叉污染 防止晶圓表面氧化
通過載入口的N2清洗實現(xiàn)存取過程中的FOUP內晶圓管理
300mm晶圓對應載入口 可運用200mm的OC!
工作臺關閉時,使用FOUP夾鉗軸(依據(jù)SEMI)夾緊傳送盒
傳送盒:可收納25片200mm晶圓的傳送盒
無晶圓圖形(Mapping)功能的廉價型
使用獨自特有的技術,實現(xiàn)了高水平清潔度
在臺灣、韓國、日本、歐美的半導體制造廠(Fab)都取得好業(yè)績
去掉Mapping功能的廉價型開盒器
使用的各用戶已有很好業(yè)績,可滿足各種用戶定制產品
適用 | 符合SEMI標準 300mmFOUP |
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外形尺寸 | W465×D588×H1317 |
機體重量 | 52kg |
生產周期 | FOUP開閉動作 各10秒以內 |
FOUP門的固定 | 機械式鎖住方式(非吸附方式) |
定位精度 | FOUP前后軸:±0.1mm、FOUP門(Door)的升降軸:±0.1mm |
電源 | DC24V±5% |
氣源 | 壓力:0.45~0.6Mpa 流量:約3升/循環(huán)周期 |
檢測功能 | FOUP有無 FOUP正常裝載 晶圓飛出 夾手 |
機構 | 門(Door)的升降、壓氣缸 門的開關、壓氣缸 卡緊機構、壓氣缸 鎖住鑰匙、壓氣缸 FOUP的對接機構、壓氣缸 |
任選 | 各種搬運器的ID讀出器 可以安裝 支持安裝PIO 滿足用戶需求的顯示的 顏色/設計 Infopad A?B?C?D |
空氣晶圓搬運用
空氣晶圓搬運用
使開口式晶圓提籃SMIF化的獨創(chuàng)方法
通過適當?shù)臍饬骺刂?,確保裝置內的清潔度
根據(jù)裝置的寬度和工作臺數(shù)等,以及業(yè)績,為用戶準備了豐富多彩的系列產品
根據(jù)需求進行運行模式設定;載入口/工作臺之間交叉式搬運等
由于有用于各種裝置的豐富業(yè)績,從而有很高的可靠性
電纜 | AC200V 50/60Hz、單相、1kVA | |
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生產周期 | 裝載/卸載:約65秒 | |
機身重量 |
1)提藍搬運機器人(X、Z、R、傾斜液壓裝置、卡緊軸) |
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開盒器規(guī)格 | 晶圓盒的打開方法 | 下開型 |
裝載埠間距 | 340mm(S型為330mm) | |
晶圓盒卡緊部分 | 1處 | |
傳感器 | 1)有無晶圓盒傳感器 2)門到位傳感器 3)有無晶圓提藍傳感器 4)晶圓飛出傳感器 |
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裝載/卸載開關 | 每個裝載埠各一個 | |
晶圓提藍承載器規(guī)格 | 傾斜機構 | 傾斜角度90°(一個位置) |
Z軸 工作范圍 | 650mm | |
R軸 工作范圍 | ±400mm(N型為±460mm) | |
定位精度 | ±0.5mm | |
任選 | 風機過濾器機組(FFU) |
ULPA過濾器 1340以上 3套 |
提籃、旋轉臺 | 外形尺寸 400W×450D×900H 轉動角度 180° |
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CID讀數(shù)裝置 | CID:ASYST 標記位置:晶圓盒右下方 |
空氣晶圓搬運用
低價格、高可靠性的半導體用低真空搬運機器人登場!
※可用于中度真空,也可用于兩只機械手,高真空雙臂式正在研制
產品保養(yǎng) |
公司營業(yè)時間:周一~周五,北京時間【8:30-17:30】
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