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HECシリーズ
靜電チャック用高圧電源
HECシリーズは、靜電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剝離させることも可能です。
単極式(2ch)、雙極式いずれにも対応できる多機能タイプです。
· 靜電チャック専用設(shè)計。
· 2ch出力內(nèi)蔵(×2モデル)。
· 両極性出力。
· リバース出力(Rモデル)。
· RFフィルタ內(nèi)蔵(オプション)。
· 出力は電子スイッチで高速応答。
· リレーを使わないので高信頼、長壽命。
· 極性反転によるスムーズな剝離。
出 力 |
モデル名 |
||
電 圧[kV] |
電 流[mA] |
リップル[%ms] |
|
±1 |
200 |
0.1 |
HEC-1R200×2 |
±3 |
67 |
0.1 |
HEC-3R67×2 |
±5 |
40 |
0.1 |
HEC-5R40×2 |
±6 |
33 |
0.1 |
HEC-6R33×2 |
±10 |
20 |
0.1 |
HEC-10R20×2 |
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