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日本松定高壓電源HEC系列
型號(hào):HEC系列
品牌:日本松定電源[鵬控代理]
產(chǎn)品說(shuō)明

HECシリーズ

靜電チャック用高圧電源

ECシリーズは、靜電チャック専用として開(kāi)発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剝離させることも可能です。
単極式(2ch)、雙極式いずれにも対応できる多機(jī)能タイプです。

·  靜電チャック専用設(shè)計(jì)。

·  2ch出力內(nèi)蔵(×2モデル)。

·  両極性出力。

·  リバース出力(Rモデル)。

·  RFフィルタ?jī)?nèi)蔵(オプション)。

·  出力は電子スイッチで高速?gòu)甏稹?

·  リレーを使わないので高信頼、長(zhǎng)壽命。

·  極性反転によるスムーズな剝離。

出 力

モデル名

電 圧[kV]

電 流[mA]

リップル[%ms]

±1

200

0.1

HEC-1R200×2

±3

67

0.1

HEC-367×2

±5

40

0.1

HEC-540×2

±6

33

0.1

HEC-633×2

±10

20

0.1

HEC-1020×2

 

用戶評(píng)論 我來(lái)說(shuō)兩句(?)
標(biāo)題
內(nèi)容
1
RmCgvgeoOl
3C8pcy https://beeg.x.fc2.com/
評(píng)論人:匿名
最后編輯于:2021-01-27 01:38
2
RmCgvgeoOl
3C8pcy https://beeg.x.fc2.com/
評(píng)論人:匿名
最后編輯于:2021-01-27 01:38
3
BDLyDOQxJyMkKWoXkCj
ZsxloY http://waldorfdollshop.us/ waldorf doll
評(píng)論人:匿名
最后編輯于:2021-01-10 00:44
4
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評(píng)論人:匿名
最后編輯于:2021-01-10 00:44
5
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評(píng)論人:匿名
最后編輯于:2021-01-09 23:19