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HECAシリーズ
靜電チャック専用高圧電源
極性反転や交流波形によるスムーズなウエハーの剝離が可能です。単極式(2ch)、雙極式いずれにも対応できオプションでRFフィルターを內(nèi)蔵できます。
· 靜電チャック専用設(shè)計(jì)。
· 2ch出力內(nèi)蔵(1kV to 5kVタイプ)。
· 両極性出力。
· RFフィルタ?jī)?nèi)蔵可能(オプション)。
· 電子切換で高速?gòu)甏黏饪赡埽?span lang="EN-US">10ms)。
· リレーがないので高信頼、長(zhǎng)壽命。
出 力 |
モデル名 |
||
電 圧[kV] |
電 流[mA] |
リップル[%ms] |
|
±1 |
6 |
0.1 |
HECA-1B6×2 |
30 |
0.1 |
HECA-1B30×2 |
|
±3 |
2 |
0.1 |
HECA-3B2×2 |
10 |
0.1 |
HECA-3B10×2 |
|
±5 |
1 |
0.1 |
HECA-5B1×2 |
6 |
0.1 |
HECA-5B6×2 |
|
±10 |
0.5 |
0.1 |
HECA-10B0.5 |
3 |
0.1 |
HECA-10B3 |
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